[发明专利]包含纳米吸移管的器件及其制造方法无效
| 申请号： | 201310477529.8 | 申请日： | 2013-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN103723672A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | S·哈雷尔;J·A·奥特;S·波隆斯基 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;H01J37/26;B81C99/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 于静;张亚非 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种包含纳米吸移管的器件及其制造方法。将具有封闭尖端的空心高纵横比样品（例如纳米试管）固定在粒子束设备（例如透射电子显微镜）中。使所述尖端与所述粒子束设备的粒子束接触，直到在所述尖端上形成开孔，从而将所述高纵横比样品转变成纳米吸移管。备选地，将具有不满足期望参数值的孔的纳米吸移管固定在粒子束设备中。使所述纳米吸移管与所述粒子束接触以便获得所述孔参数的所述期望值。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 纳米 吸移管 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：将空心高纵横比HAR样品固定在粒子束设备PBD中，其中所述空心HAR样品具有封闭的尖端；以及使所述尖端与所述PBD的粒子束接触，直到在所述尖端上形成开孔；以及其中将在所述尖端上形成所述开孔的所述空心HAR样品表征为纳米吸移管。
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