[发明专利]化学腐蚀抽拉法制备STM探针技术及其装置无效
| 申请号： | 201310451242.8 | 申请日： | 2013-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN103510148A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 焦富马 | 申请（专利权）人： | 焦富马 |
| 主分类号： | C25F3/08 | 分类号： | C25F3/08;C25F7/00;G01Q60/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710123 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 化学腐蚀抽拉法制备STM探针技术及其装置。本发明涉及一种电化学制STM探针的技术。运用电化学腐蚀法及机械抽拉相结合的方法，将原来的中心带圆孔的圆片状阴极改为现在的管状阴极，使原来的液面腐蚀变为浸入碱液内的全面腐蚀，弥补了原来的电化学腐蚀法出现的切断时间不好把握、针尖易钝化弯曲等不足。该装置具有原理简单、可重复使用等优点，该技术生产出的针尖具有曲率小、对称性高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 腐蚀 法制 stm 探针 技术 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种运用电化学腐蚀与机械抽拉相结合制备STM探针的技术。
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