[发明专利]一种恢复已疲劳铁电聚合物膜电极化特性的方法

摘要

本发明涉及一种已疲劳铁电聚合物膜极化特性恢复的方法。采用紫外辐照/直流偏压相结合的方法实现已疲劳铁电聚合物膜的极化恢复。其中紫外光中心波长365nm，正的直流偏压施加于紫外光辐照的铁电膜表面。理想情况下，铁电聚合物膜的极化特性可至少恢复至疲劳前初始状态的95%。

主权项

一种恢复已疲劳铁电聚合物膜电极化特性的方法，其特征在于具体步骤如下：(1) 为达到最佳的恢复效果，控制已疲劳铁电膜厚小于10μm；(2) 采用真空热蒸发或是磁控溅射方法，在步骤(1)所述的已疲劳铁电膜底部表面沉积一层金属电极，金属电极厚度无严格要求，确保其具有优良导电性即可；(3) 采用真空热蒸发或是磁控溅射方法，在步骤(2)所得的已疲劳铁电膜顶部表面沉积一层金电极，金电极厚度为10‑20nm，以确保其优良导电性及半透明特性；(4) 在已疲劳铁电膜的底部金属电极和顶部金电极之间接直流电压源，已疲劳铁电膜的金属电极接地，金电极接正的直流偏压，为确保达到最优的疲劳恢复效果，直流偏压幅值应大于铁电膜矫顽电压；(5) 直流偏压施加的同时，采用紫外光源辐照铁电膜上的金电极所处的表面，光源中心波长365nm，可调光强最大值为100mW/cm2；直流偏压幅值为1倍到3倍薄膜矫顽电压；根据紫外光强和直流偏压幅值，恢复处理时间为30分钟到3小时；光强越大、偏压越高，处理时间越短；(6) 当达到预定处理时间后，关闭光源，关断直流偏压，测试疲劳恢复处理后的铁电膜极化特性。