[发明专利]一种抗大气冲击的分子泵

摘要

本发明属于流体机械技术领域，尤其涉及用于半导体、节能灯、太阳能制造行业获得真空的一种抗大气冲击的分子泵，本分子泵包括底盘，底盘中部安装有电机，转子扣装在底盘上，泵壳通过螺钉固定扣装在转子与底座上，泵壳顶部设有进气口，底盘侧面靠近底部设有排气口；转子由圆柱形硬质铝合金材料整体加工成型，转子从顶部至底部均匀开有4～8个螺旋形排气槽，转子内部设有一个安装层，其上下两侧为中空腔体，安装层中心位置开有一个锥形通孔；电机主轴延伸到底盘上部的部分插入转子安装层上的锥形通孔内，与锥形通孔紧密配合，本发明具有结构简单，便于维护，能降低生产成本，易于加工，转子强度高，具有抗大气冲击能力等优点。

主权项

一种抗大气冲击的分子泵，包括底盘、安装在底盘上的电机、连接在电机主轴上的转子和固定扣装在转子与底盘上的泵壳，其特征在于：所述底盘的中部轴向有一个圆柱形通孔，圆柱形通孔外围设有一个环形槽，底盘外侧面靠近底部位置设有一个排气口，排气口与环形槽连通；所述电机为嵌入安装在底盘上的圆柱形通孔内，电机主轴向上延伸到底盘顶部外侧；所述的转子为圆柱形，其外表面从顶部至底部均匀开有4～8条螺旋形排气槽，排气槽从起始端开始沿轴向延伸，深度逐渐由深变浅，宽度逐渐由宽变窄，直至转子外表面底端，转子内部居中部位设有一个安装层，安装层中心位置开有一个通孔，安装层的上下两侧各有一个中空腔体，所述泵壳为圆柱形结构，其底部开放，内为圆柱形腔体，顶部设有进气口。