[发明专利]图案转移基板装置及其图案转移基板有效
申请号: | 201310418304.5 | 申请日: | 2013-09-13 |
公开(公告)号: | CN103676472B | 公开(公告)日: | 2017-01-04 |
发明(设计)人: | 李永春;张哲玮;谢易达;颜志男 | 申请(专利权)人: | 李永春 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司11245 | 代理人: | 赵蓉民 |
地址: | 中国台湾台南 市永康*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明为一种图案转移基板装置及其图案转移基板。图案转移基板装置包括环形治具以及图案转移基板。环形治具具有中空部。图案转移基板设置于中空部且由环形治具夹持,并具有本体部及凸部。凸部与本体部一体成型并位于本体部的外缘。环形治具夹持凸部。本发明的图案转移基板形成于环形治具内,且通过凸部可增加两者的连结强度,并且本发明的图案转移基板在环形治具夹持的情况下进行制造程序,因而能避免操作者触摸图案转移基板而避免污损。 | ||
搜索关键词: | 图案 转移 装置 及其 | ||
【主权项】:
一种图案转移基板装置,其特征在于,包括:环形治具,具有中空部;以及图案转移基板,设置于所述中空部且由所述环形治具夹持,并具有:本体部;及凸部,与所述本体部一体成型并位于所述本体部的外缘,所述环形治具夹持所述凸部,其中所述凸部为渐扩部或渐缩部。
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