[发明专利]一种周期性结构的绒面透明导电薄膜及其制备方法

摘要

一种周期性结构的绒面透明导电薄膜，包括玻璃衬底层、起模板作用的第一层ZnO薄膜和起修饰作用的第二层ZnO薄膜并依次形成叠层结构，第一层ZnO薄膜厚度为300-1500nm，第二层ZnO薄膜的厚度为400-1000nm，构成具有散射作用的周期性结构绒面透明导电薄膜；其制备方法：利用水浴方法组装PS微球，用O2等离子刻蚀PS微球，利用PS微球的模板作用，得到具有周期性结构的陷光ZnO透明导电薄膜。本发明的优点是：制备的ZnO薄膜具有良好的陷光效果，作为前电极用于薄膜太阳电池，对400-1100nm电池所能利用的波长范围内有良好散射作用，可增加入射光在硅基薄膜电池中的光程，提高光利用率。

主权项

一种周期性结构的绒面透明导电薄膜，其特征在于：包括衬底层、起模板作用的第一层ZnO薄膜和起修饰作用的第二层ZnO薄膜并依次形成叠层结构，衬底层为硬质衬底玻璃，ZnO薄膜为掺杂氧化锌n型半导体材料，包括ZnO：H、 ZnO：Al、ZnO：Ga、ZnO：B、ZnO：H、ZnO：Mo和ZnO：W中的至少一种，其中第一层ZnO薄膜厚度为300‑1500nm，第二层ZnO薄膜的厚度为400‑1000nm，构成具有宽光谱散射作用的周期性结构的绒面透明导电薄膜，周期性结构的ZnO绒面透明导电薄膜的均方根粗糙度为30‑250 nm。