[发明专利]一种基于柔性铰链的三自由度精密调节装置有效
| 申请号： | 201310416186.4 | 申请日： | 2013-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN103465258A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 傅新;廖安志;陈文昱;邵杰杰 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | B25J9/02 | 分类号： | B25J9/02 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于柔性铰链的三自由度精密调节装置。该装置安装在浸没式光刻机的主框架和浸没单元之间，其安装基板和运动平台之间由三组相同的运动支链以并联方式相连；每组运动支链由竖直直线运动模块、连接杆固定块、紧固螺栓、连接螺栓组成；竖直直线运动模块由直线运动副、关节轴承、压缩弹簧、关节轴承端盖、端盖螺栓、连接杆组成；在运动平台上与每组运动支链对应的位置分别有一组并联的柔性铰链。本发明用以实现浸没式光刻机浸没单元的安装固定和空间位姿调节，实现浸没单元亚微米级定位；本发明无运动间隙，刚度高，行程大，采用模块化设计，能用于浸没式光刻机以外其它场合下的三自由度精密调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 柔性 铰链 自由度 精密 调节 装置 | ||
【主权项】：
一种基于柔性铰链的三自由度精密调节装置，其特征在于：基于柔性铰链的三自由度精密调节装置（S2）安装在浸没式光刻机主框架（1）与浸没单元（S3）之间，基于柔性铰链的三自由度精密调节装置（S2）通过安装基板安装孔（4A）安装到浸没式光刻机主框架（1）上，浸没单元（S3）通过浸没单元安装孔（9A）安装到运动平台（9）下端面上；安装基板（4）和运动平台（9）之间通过三组结构相同的运动支链以并联方式相连；三组运动支链以安装基板中心孔（4C）为中心圆周分布，嵌入在安装基板（4）外侧。
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