[发明专利]支撑销、基板支撑装置、基板处理装置

摘要

本发明提供一种支撑销、基板支撑装置及基板处理装置，无论有无定位板都能够共用支撑销。该支撑销（50）配置在设于基板支撑装置（30）的底座（31）上，用于支撑印刷基板（P），该支撑销具备支撑销主体（51）及姿态稳定部件（60），支撑销主体具有形成于下端侧的小径部（53）和形成于前端侧的支撑部（55），小径部与形成于定位板（40）的定位孔（43）嵌合，其中该定位板装卸自如地安装于底座上，并且支撑部支撑印刷基板（P）；姿态稳定部件（60）能够装卸地安装于支撑销主体的小径部，在不使用定位板（40）而将支撑销主体（51）配置于底座（31）上的情况下，使支撑销主体相对于底座稳定为立起的姿态。

主权项

一种支撑销，配置在设于基板支撑装置的底座上，用于支撑印刷基板，其特征在于，所述支撑销具备：支撑销主体，具有形成于下端侧的小径部和形成于前端侧的支撑部，所述小径部与形成于定位板的定位孔嵌合，其中所述定位板装卸自如地安装于所述底座上，并且所述支撑部支撑所述印刷基板；及姿态稳定部件，能够装卸地安装于所述支撑销主体的所述小径部，在不使用所述定位板而将所述支撑销主体配置于所述底座上的情况下，使所述支撑销主体相对于所述底座稳定为立起的姿态。