[发明专利]电容式压力传感器有效

专利信息
申请号: 201310407557.2 申请日: 2013-09-09
公开(公告)号: CN103674404A 公开(公告)日: 2014-03-26
发明(设计)人: 莱奥·E·巴龙;约翰·A·曹扎斯蒂;弗朗西斯·A·加勒 申请(专利权)人: 丹尼斯科工具有限公司
主分类号: G01L9/12 分类号: G01L9/12
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 董敏;田军锋
地址: 美国马*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明公开了一种高温压力感测装置和一种方法。在一些实施方式中,公开了一种包括相对于温度的内在的零点输出和值域修正的高温压力传感器。此外,本发明公开了通过使用朝向高温压力传感器的远端部定位的中间电路来改进高温性能的方法以及减小压力传感器内的热感生应力的构型。公开的实施方式也详述了减小因压力传感器内的各种寄生电容而产生的信号损失以改进信号保真度和灵敏度的方法。
搜索关键词: 电容 压力传感器
【主权项】:
一种压力传感器,包括:管状的探测器本体,管状的所述探测器本体具有近端部和远端部;电容式传感器,所述电容式传感器布置在所述探测器本体的所述远端部处;引线,所述引线电耦联至所述电容式传感器并且沿着管状的所述探测器本体的内部空间朝向所述近端部延伸;以及至少一个支承件,所述支承件由具有相对低的介电常数的材料形成并且布置在管状的所述探测器本体内,所述至少一个支承件构造且设置成将所述引线支承在管状的所述探测器本体内并且将所述引线与管状的所述探测器本体的内壁间隔开。
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