[发明专利]分离式喷淋头装置无效
| 申请号： | 201310401366.5 | 申请日： | 2013-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN103436861A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 谭华强 | 申请（专利权）人： | 光达光电设备科技（嘉兴）有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 深圳市盈方知识产权事务所(普通合伙) 44303 | 代理人： | 周雷 |
| 地址： | 314300 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种分离式喷淋头装置。该分离式喷淋头装置包括一个气体分配部和一个冷却部，该气体分配部包括多个通气管；该冷却部为桶状，包括一个底部和一个侧壁；该气体分配部收容于该侧壁内，并与该冷却部配合形成一个封闭空间；该侧壁包括一个用于向该封闭空间输入吹扫气体的吹扫通道；该底部包括多个通气孔，每一通气管对应连接至一个通气孔。本发明的分离式喷淋头装置不易产生故障。 | ||
| 搜索关键词： | 分离 喷淋 装置 | ||
【主权项】：
一种分离式喷淋头装置，包括一个气体分配部和一个冷却部，其特征在于：该气体分配部包括多个通气管；该冷却部为桶状，包括一个底部和一个侧壁；该气体分配部收容于该侧壁内，并与该冷却部配合形成一个封闭空间；该侧壁包括一个用于向该封闭空间输入吹扫气体的吹扫通道；该底部包括多个通气孔，每一通气管对应连接至一个通气孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于光达光电设备科技（嘉兴）有限公司，未经光达光电设备科技（嘉兴）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310401366.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种综合处理剂及其使用方法
- 下一篇：气体通道及进气装置
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
