[发明专利]微机电双向游标尺

摘要

本发明公开了一种用于测量一维位移量的双向游标尺结构，该结构既可以测量正位移，也可以测量负位移。双向游标由左右两部分组成，其中左半部分的核心结构为“T”型头，右半部分的核心结构为“凸”型头，“T”型头和“凸”型头相对放置，并呈一定的偏移位置关系。“T”型结构的“—”所对应的矩形结构的两条长边是对准用的两根基线，“凸”型结构上的4条直线是另一组对准基线。当两个部分发生水平相向移动或相离移动时，“T”型头和“凸”型头的对准位置发生变化。通过该结构可以测量微机电器件在驱动作用下所产生的位移大小以及因微机电结构释放产生的形变位移大小。

主权项

一种微机电双向游标尺，所述游标尺结构由左右两半部分组成，左半部分的核心结构为“T”型头，右半部分的核心结构为“凸”型头，每个“T”型头和其上下两边相邻的两个“凸”型头组成一组，每组之间的对准关系相差一定的偏移量，其特征在于：所述左半部分包括多个尺寸完全相同并顺时针旋转90度的“T”型结构，“T”型结构的底部部分为水平矩形（101），“T”型结构的顶部部分为竖直矩形（102），各个“T”型结构的底部（101）与一根竖直梁（100）连接，呈垂直关系，“T”型结构的顶部部分所对应的竖直矩形（102），其两条长边是对准用的基线，竖直矩形（102）的右侧长边为A基线，左边长边为B基线，所有“T” 型结构的A基线在一条直线上，B基线在另一条直线上；所述右半部分包括两个主要单元：梳齿结构和位于齿上的“凸”型头，梳齿结构由一根直梁（103）和多根齿（104）构成，直梁（103）和齿（104）垂直连接，在齿（104）上与“T”型结构相邻的一边设计有“凸”型头（105、106、107、108、109和110），所述“凸”型结构的个数等于齿的个数减1后乘以2，任何两个上下相邻的“凸”型结构，设置在下面的“凸”型结构比上面的“凸”型结构向左平移2△，其中△为游标的最小分辨单位；“凸”型结构上与齿垂直的4条直线（C1、C2、C3和C4）是另一组对准基线，其中，最左边的为C1对准基线，向右依次为C2、C3、C4对准基线；C1、C2基线间距以及C3、C4基线间距等于[（“凸”型个数×2‑1）×△]。