[发明专利]形状测量机和用于校正形状测量误差的方法

摘要

一种形状测量机和用于校正形状测量误差的方法，该形状测量机包括用于支持扫描探头的滑块。标尺单元检测所述滑块的位移。尖端球体位移检测单元检测尖端球体的位移。计算单元包括校正滤波器和加法器，并且根据所述滑块和所述尖端球体的位移，计算测量值，其中，所述校正滤波器包括第一和第二滤波器。所述第一滤波器基于从所述标尺单元到所述滑块的尖端的频率传递特性，校正所述滑块的位移。所述第二滤波器输出通过基于从所述滑块的尖端到所述尖端球体的频率传递特性来校正通过所述第一滤波器校正后的值而获得的值，作为校正值。所述加法器输出通过对所述校正值和所述尖端球体的位移进行相加所获得的测量值。

主权项

一种形状测量机，包括：扫描探头，用于通过使用设置在被安装至所述扫描探头的一端的触针的尖端处的尖端球体来进行扫描测量，其中，所述尖端球体被配置成能够与被测体接触；滑块，其以能够移动的方式进行配置，并且用于在所述扫描探头的与所述尖端球体相对的另一端处支持所述扫描探头；标尺单元，用于检测所述滑块的位移；尖端球体位移检测单元，用于检测所述扫描探头的所述尖端球体相对于所述扫描探头和所述滑块之间的连接部的位移；以及计算单元，用于根据所述标尺单元所检测到的所述滑块的位移和所述尖端球体位移检测单元所检测到的所述尖端球体的位移，来计算测量值，其中，所述计算单元包括：校正滤波器，用于输出校正值，其中，所述校正值是通过基于从所述标尺单元到所述尖端球体的频率传递特性来校正所述标尺单元所检测到的所述滑块的位移而获得的，以及第一加法器，用于将所述校正值和所述尖端球体位移检测单元所检测到的所述尖端球体的位移进行相加，以及所述校正滤波器包括：第一滤波器，用于基于从所述标尺单元到所述扫描探头和所述滑块之间的连接部的频率传递特性，来校正所述标尺单元所检测到的所述滑块的位移，以及第二滤波器，用于输出基于从所述扫描探头和所述滑块之间的连接部到所述尖端球体的频率传递特性来校正所述第一滤波器所校正后的值而获得的值，作为所述校正值。