[发明专利]一种电涡流传感器的温度漂移自动校正方法

摘要

本发明提供一种电涡流传感器的温度漂移自动校正方法，该方法是采用一定的阻抗测量电路同时获取探测线圈的等效电感和电阻，利用其电感和电阻随温度和被测量变化的关系，来消除温度变化的影响，提取出实际的被测量的变化信息。本发明由阻抗测量模块（4）和校正运算模块（5）组成的涡流传感器信号调理电路，实现了在获取被测量信息的同时，自动校正、消除了温度变化的影响。本发明进行温度漂移校正不增加额外的探头、线圈或温度传感器，温漂校正效果显著，而且具有适用范围广、结构简单、易于实现等诸多优点。采用本发明对单线圈的电涡流位移传感器探头进行温度漂移自动校正，其温漂系数一般可以从500nm/℃降低到了5nm/℃以下。

主权项

一种电涡流传感器的温度漂移自动校正方法，该方法通过由探测目标（1）、电涡流传感器探头（2）、同轴电缆（3），阻抗测量模块（4）和校正运算模块（5）组成的系统实现，其特征在于实现过程包含如下步骤：步骤1）、选取一个通用的包含一个探测线圈的电涡流传感器探头（2），或者制作一个包含一个探测线圈的电涡流传感器探头（2）；电涡流传感器探头（2）通过同轴电缆（3）连接到阻抗测量模块（4），阻抗测量模块（4）的两路输出作为校正运算模块（5）的输入；步骤2）、设计制作一个阻抗测量模块（4），能够测得探测线圈（6）阻抗的两个独立参数：电阻R的信息和电感L的信息，阻抗测量电路（4）测得的感应线圈的电阻R的信息和电感L的信息分别用电压值UR和UL来表示；步骤3）、利用现有的电涡流传感器温度系数测量系统和灵敏度测量系统，测得UL和UR与被测量x和温度T的关系方程如下： U L = f L ( x , T ) U R = f R ( x , T ) - - - ( 1 ) 步骤4）、解方程（1）得到被测量x和T与测得值UL和UR得关系表达式如下： x = g L ( U L , U R ) T = g R ( U L , U R ) - - - ( 2 ) 步骤5）、设置校正运算模块（5）的运算关系使其与表达式（2）中的运算关系一致，则其输出Ux即代表校正后的被测量x，则测量结果不受温度变化的影响，同时还能够获得温度变化的信息。