[发明专利]具有差分电容输出的压力传感器

摘要

本发明公开了一种具有差分电容输出的压力传感器。提供了一种MEMS压力传感器装置(200,400,500,600)，其不仅可以提供关于外部压力的线性输出，而且提供差分电容输出以便改进信号振幅水平。这些优势通过使用旋转检测质量(250,420,520)被提供，其中该旋转检测质量从配置在旋转检测质量两端的电极生成电容输出(283,293)。可以然后通过使用从旋转检测质量末端生成的电容之间的差来生成传感器输出。这种配置的附加好处是，与传统MEMS压力传感器相比，差分电容输出相对于外部压力改变以更加线性的方式改变。

主权项

一种微机电系统（MEMS）压力传感器，包括：旋转检测质量，其中所述旋转检测质量包括：可活动元件，适于相对于位于其第一和第二末端之间的旋转轴偏移进行运动，以形成位于所述旋转轴和所述第一末端之间的第一部分以及位于所述旋转轴和所述第二末端之间的第二部分，所述第一部分，包括与所述旋转轴间隔开的延伸部分，以及所述第二部分，包括与所述旋转轴以大约与所述第一部分的所述延伸部分的长度相等的长度间隔开的延伸部分，以便所述旋转轴位于所述可活动元件的质量的中心；隔膜，被配置为响应于在包括所述隔膜和所述旋转检测质量的封装的外部的第一流体压力而变形；以及连结件，被配置为将所述封装内部的所述隔膜的表面耦合于沿着所述旋转检测质量的所述第一部分的点，其中所述旋转检测质量被配置为响应于所述隔膜的变形而旋转。