[发明专利]一种环保介电层材料化学机械抛光液无效
| 申请号： | 201310387802.8 | 申请日： | 2013-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN103436183A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 张竹香 | 申请（专利权）人： | 青岛承天伟业机械制造有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266199 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种环保介电层材料化学机械抛光液，其特征在于，包括下列重量份数的物质：三甲硅基甲基磷酸二甲酯12-23份，氰尿酸三聚氰胺10-16份，滑石粉8-16份，液态石蜡4-9份，高岭土1-3份，季戊四醇1-5份，氰尿酸三聚氰胺盐2-3份，蒙脱土1-3份，磷酸二氢钾2-4份，分子筛1-2份，硅藻土1份，硼酸钠2-4份，片层结构的云母粉1份，空心玻璃微珠1-2份。本发明的化学机械抛光液可抑制低介电材料的抛光速率，而对铜和二氧化硅的去除速率影响不大，同时可减少被抛光材料的表面污染物。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环保 介电层 材料 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
一种环保介电层材料化学机械抛光液，其特征在于，包括下列重量份数的物质：三甲硅基甲基磷酸二甲酯12‑23份，氰尿酸三聚氰胺10‑16份，滑石粉8‑16份，液态石蜡4‑9份，高岭土1‑3份，季戊四醇1‑5份，氰尿酸三聚氰胺盐2‑3份，蒙脱土1‑3份，磷酸二氢钾2‑4份，分子筛1‑2份，硅藻土1份，硼酸钠2‑4份，片层结构的云母粉1份，空心玻璃微珠1‑2份。
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