[发明专利]套刻测量装置和方法有效
| 申请号： | 201310379994.8 | 申请日： | 2013-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN104423173A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 陆海亮;王帆 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种套刻测量装置和方法，用于检测套刻误差，该装置包括：光源，用于提供照明光束；物镜，用于将照明光束汇聚到待测样品上，并收集待测样品表面的衍射光；空间光调制器，位于物镜光瞳面，用于控制不同衍射级次的衍射光束通过；第一光谱仪，用于测量通过空间光调制器的衍射光光谱。本发明通过采用光谱测量替代角谱测量，减小了照明非均匀性对衍射光对应衍射级次非对称性测量的影响；同时，采用第一光谱仪对不同级次衍射光进行测量，减小角谱测量中CCD探测器灵敏度非均匀性对衍射光对应衍射级次非对称性测量的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种套刻测量装置，用于检测套刻误差，其特征在于，包括：光源，用于提供照明光束；物镜，用于将照明光束汇聚到待测样品上，并收集待测样品表面的衍射光；空间光调制器，位于物镜光瞳面，用于控制不同衍射级次的衍射光束的通过；第一光谱仪，用于测量通过空间光调制器的衍射光光谱。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310379994.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：图像形成装置
- 下一篇：黑色光敏树脂组合物和使用该黑色光敏树脂组合物的挡光层
