[发明专利]蚀刻液在审
| 申请号： | 201310376404.6 | 申请日： | 2013-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN104419931A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 张永俊;王冠;宋卿 | 申请（专利权）人： | 广州三星通信技术研究有限公司;三星电子株式会社 |
| 主分类号： | C23F1/28 | 分类号： | C23F1/28 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 王占杰;李柱天 |
| 地址： | 510663 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蚀刻液，所述蚀刻液由以重量计的下述组分配制而成：15%-25%的三氯化铁，30%-50%的氢氟酸，2%-5%的磷酸，其余为水。优选地，在蚀刻液中，以重量计，三氯化铁的含量为20%-25%，氢氟酸的含量为35%-50%，磷酸的含量为2%-3%，其余为水。本发明的蚀刻液能够在实现高蚀刻效率和优良的加工效果的同时能够形成凸凹起伏和平缓过渡的表面微结构。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种蚀刻液，所述蚀刻液由以重量计的下述组分配制而成：15%‑25%的三氯化铁，30%‑50%的氢氟酸，2%‑5%的磷酸，其余为水。
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