[发明专利]制备多晶硅的设备

摘要

本发明公开了一种用于制备多晶硅的设备，该设备包括：氯氢化合成反应装置，其用于使硅粉、氢气以及选自氯化氢与四氯化硅的至少一种发生氯氢化合成反应；第一精馏纯化装置，其用于对所述包含三氯氢硅的氯氢化合成反应产物进行第一精馏纯化处理；歧化反应装置，其用于使所述三氯氢硅发生歧化反应；第二精馏纯化装置，其用于对所述歧化反应产物进行第二精馏纯化处理；以及热解反应装置，其用于使所述硅烷气体发生热解反应，以便获得多晶硅。利用该设备能够有效地制备获得电子级多晶硅，并且该设备涉及的工艺简单、安全、节能环保、成本低，且生产的多晶硅纯度高，产生的尾气和废渣能够达到环保要求，为电子级多晶硅清洁生产工艺。

主权项

一种用于制备多晶硅的设备，其特征在于，包括：氯氢化合成反应装置，所述氯氢化合成反应装置用于使硅粉、氢气以及选自氯化氢与四氯化硅的至少一种发生氯氢化合成反应，以便获得包含三氯氢硅的氯氢化合成反应产物；第一精馏纯化装置，所述第一精馏纯化装置与所述氯氢化合成反应装置相连，用于对所述包含三氯氢硅的氯氢化合成反应产物进行第一精馏纯化处理，以便获得三氯氢硅和第一精馏残液；歧化反应装置，所述歧化反应装置与所述第一精馏纯化装置相连，用于使所述三氯氢硅发生歧化反应，以便获得包含四氯化硅和硅烷的歧化反应产物；第二精馏纯化装置，所述第二精馏纯化装置与所述歧化反应装置相连，用于对所述歧化反应产物进行第二精馏纯化处理，以便获得硅烷气体和四氯化硅；以及热解反应装置，所述热解反应装置与所述第二精馏纯化装置相连，用于使所述硅烷气体发生热解反应，以便获得多晶硅。