[发明专利]纯化三氯氢硅的方法有效
| 申请号： | 201310373754.7 | 申请日： | 2013-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN103466633A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 万烨;张升学;严大洲;毋克力;肖荣辉;汤传斌;杨永亮 | 申请（专利权）人： | 中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100038*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纯化三氯氢硅的方法，该方法包括：对三氯氢硅进行第一精馏纯化处理，以便获得经过纯化的三氯氢硅和第一精馏残液，其中第一精馏纯化处理是利用串联的第一精馏塔、第二精馏塔和第三精馏塔进行的，第一精馏塔的精馏温度为60～100摄氏度，压力为0.2MPa，回流比为10～50:1；第二精馏塔的精馏温度为100～140摄氏度，压力为0.5MPa，回流比为20～50:1；第三精馏塔的精馏温度为60～80摄氏度，压力为0.2MPa，回流比为20～50:1。利用该方法能够有效地纯化三氯氢硅，并且该方法工艺简单、安全、节能环保、成本低，且经过纯化的三氯氢硅纯度高，能够有效应用于多晶硅制备工艺，而产生的废液能够继续利用。 | ||
| 搜索关键词： | 纯化 三氯氢硅 方法 | ||
【主权项】：
一种纯化三氯氢硅的方法，其特征在于，包括：对三氯氢硅进行第一精馏纯化处理，以便获得经过纯化的三氯氢硅和第一精馏残液，其中，所述三氯氢硅以氯氢化合成反应产物的形式提供，所述第一精馏纯化处理是利用串联的第一精馏塔、第二精馏塔和第三精馏塔进行的，其中，在每个精馏塔中，用于进行精馏处理的物料均为沿所述精馏塔的轴向方向自下而上运动，所述第一精馏塔的精馏温度为60～100摄氏度，压力为0.2MPa，回流比为10～50:1；所述第二精馏塔的精馏温度为100～140摄氏度，压力为0.5MPa，回流比为20～50:1；所述第三精馏塔的精馏温度为60～80摄氏度，压力为0.2MPa，回流比为20～50:1。
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