[发明专利]一种高可靠自带热子吸气剂的制备方法

摘要

本发明是一种高可靠自带热子吸气剂的制备方法，其特征是该方法包括如下步骤:1)陶瓷基座制备；2)加热丝制备；3)绝缘浆料制备；4)上下电极制备；5)热子组件制备；6)吸气组件准备；7)吸气剂制备。本发明的优点在于：通过将加热丝内置解决了热子丝脚在径向振动时易疲劳断裂的问题；通过上下金属电极包裹绝缘涂层及陶瓷基座解决了加热丝表面的绝缘涂层易脱落的问题；通过将吸气部件先压制后烧结，然后与热子部件钎焊牢固的技术，避免了吸气合金颗粒脱落的问题。通过本发明方法制备的自带热子吸气剂其可靠性大为增强，满足了特殊电真空器件对自带热子吸气剂可靠性的苛刻要求。

主权项

一种高可靠自带热子吸气剂的制备方法，其特征是该方法包括如下步骤:1)陶瓷基座制备：按吸气剂外径尺寸要求制备带凹槽的陶瓷片，并将陶瓷片进行必要的洁净处理和烘干；2)加热丝制备：将加热丝绕制成外径小于陶瓷基座凹槽宽度的螺旋状，并进行必要的洁净处理；3)绝缘浆料制备：将绝缘微粉与粘结剂溶液混合，配制绝缘浆料；4)上下电极制备：将金属片冲压成型，使之可与陶瓷基座紧密配合，上下电极互不相碰并进行必要的洁净处理；5)热子组件制备：将加热丝盘入陶瓷基座，并且两端伸出；然后将绝缘浆料倒入凹槽，并干燥、成瓷；将陶瓷基座上下表面金属化；将上下电极与陶瓷基座钎焊成一整体，并且加热丝的一端与上电极相连，加热丝的另一端与下电极相连；6)吸气组件准备：将金属片冲压成型，使其具有一平坦底面和一个或多个略向轴心倾斜的锚定装置；将锚定装置放入压制模具，添加吸气粉末压制成型并脱模；将吸气组件在真空中烧结成型；7)吸气剂制备：将热子组件与吸气组件在真空或惰性气体保护下通过钎焊连接成一整体。