[发明专利]一种用于滚型纳米压印的滚轮模具有效
| 申请号： | 201310359609.3 | 申请日： | 2013-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN103400534A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 兰红波 | 申请（专利权）人： | 青岛博纳光电装备有限公司 |
| 主分类号： | G09F7/00 | 分类号： | G09F7/00 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市高*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种新型的用于滚型纳米压印的滚轮模具，实现UV固化滚型纳米压印对非透明衬底的压印。它包括：用于压印的具有UV光透过性的透明空心滚筒；滚筒外表面固定有具有UV光透过特性的特征结构层，特征结构层由凸形特征和凹形特征构成所要复制的特征图形；在滚筒内表面设有准直透镜；准直透镜的内表面涂有高反射涂层，在需要曝光的区域开有狭缝，准直透镜位于石英滚筒和UV光源之间，准直透镜将UV光源发射的UV光束聚焦到狭缝中心区域，并得到均匀一致的光束，通过准直透镜的狭缝对压印材料曝光固化；UV光源位于滚筒内部的中心轴线上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 纳米 压印 滚轮 模具 | ||
【主权项】：
一种用于滚型纳米压印的滚轮模具，其特征是，包括：用于压印的具有UV光透过性的透明空心滚筒；滚筒外表面固定有具有UV光透过特性的特征结构层，特征结构层由凸形特征和凹形特征构成所要复制的特征图形；在滚筒内表面设有准直透镜；准直透镜的内表面涂有高反射涂层，在需要曝光的区域开有狭缝，准直透镜位于石英滚筒和UV光源之间，准直透镜将UV光源发射的UV光束聚焦到狭缝中心区域，并得到均匀一致的光束，通过准直透镜的狭缝对压印材料曝光固化；UV光源位于滚筒内部的中心轴线上。
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