[发明专利]具有高收光效率的基于发光二极管的光刻发光器

摘要

一种具有高收光效率的基于发光二极管的光刻发光器揭露于此。所述发光器使用发光二极管阵列，其中各发光二极管具有发光二极管晶粒以及散热器。发光二极管晶粒被成像在光均匀器柱的输入端以大致覆盖该输入端，而不包含发光二极管的不会发光的散热器部分。微透镜阵列用来成像发光二极管晶粒。发光器的收光效率比50%来的更好，且光均匀器的输出端的照明均匀性在+/-2%以内。

主权项

一种适用于光刻系统的发光器，该发光器沿发光器轴线包括：光源，包含大体设置于第一平面的发光二极管（LED）阵列，该发光二极管阵列的各发光二极管具有发出光化学光线的发光二极管晶粒且具有一轴及由维度LD限定的第一区域，其中，该发光二极管晶粒承载于不发光的散热器上，该散热器具有由维度LH限定的第二区域，其中LH>LD；多个微透镜，大体设置于第二平面，该第二平面大致平行于该第一平面，各微透镜具有大体与相对应的发光二极管晶粒同轴的微透镜轴，其中各微透镜具有介于2倍至20倍之间的放大倍率；及光均匀器柱，具有输入端与输出端；其中，各微透镜于光均匀器柱的输入端形成相对应的发光二极管晶粒的影像，以形成大致覆盖整个输入端的发光二极管晶粒的影像的阵列，藉以于该输入端定义多个虚拟发光二极管光源，且在输出端获得在+/–2%内的照明均匀性。