[发明专利]加热装置、反应腔室及等离子体加工设备

摘要

本发明提供加热装置、反应腔室及等离子体加工设备，加热装置包括多个相互独立的子线圈、通断开关和交流电源，其中多个子线圈分别对应于被加工工件表面的不同区域设置；通断开关用于选择性地将多个子线圈中的其中一个子线圈与交流电源电连接，或者选择性地将多个子线圈中的其中至少两个子线圈串联形成多匝线圈，并将该多匝线圈与交流电源电连接；交流电源用于向与其电连接的子线圈提供交变电流，以使该子线圈或多匝线圈采用感应加热的方式对与之相对应的被加工工件表面的区域进行加热。本发明提供的加热装置，其可以采用感应加热的方式对被加工工件进行均匀加热，从而可以提高工艺的均匀性。

主权项

1.一种加热装置，其特征在于，包括多个相互独立的子线圈、通断开关和交流电源，其中所述多个子线圈分别对应于被加工工件表面的不同区域设置；所述通断开关用于选择性地将所述多个子线圈中的其中至少两个子线圈串联形成多匝线圈，并将该多匝线圈与所述交流电源电连接；所述交流电源用于向与其电连接的多匝线圈提供交变电流，以使该多匝线圈采用感应加热的方式对与之相对应的所述被加工工件表面的区域进行加热。