[发明专利]光学元件气囊支撑装置有效
| 申请号： | 201310322903.7 | 申请日： | 2013-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN103399388A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 彭海峰;巩岩;何欣;倪明阳;赵磊;李显凌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 投影物镜系统中光学元件气囊支撑装置，属于光学检测技术领域，为提高检测的复现性和重复性，本发明气囊支撑装置包括橡胶支撑座、大压圈、小压圈和底座，光学元件放置于气囊支撑装置上，橡胶支承座被压圈固定在底座上，进气口和出气口设置在底座内，橡胶支承座底部设置圆弧形凸台，与底座上截面为圆弧状的凹槽配合；在充气时，外部设置气管，气压表和调流阀，通过调节调流阀控制气流的大小，影响支承座内部的气压，进而调节光学元件与橡胶支承座的接触面积；充液时，外部设置一稳流单向阀，并设置一液压控制装置使得液体源在充液时能够控制液压的大小；在充气和充液后，将光学元件放置于支承座上；本装置可实现光学元件的高精度检测支撑。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 气囊 支撑 装置 | ||
【主权项】：
光学元件气囊支撑装置，包括橡胶支承座（1）、大压圈（2）、小压圈（3）和底座（4），其特征是，光学元件（5）放置在橡胶支撑座（1）上；橡胶支撑座（1）被大压圈（2）和小压圈（3）固定在底座（4）上。
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