[发明专利]光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置有效
| 申请号： | 201310322690.8 | 申请日： | 2013-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN103399387A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 彭海峰;巩岩;何欣;陈华男;李显凌;倪明阳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置，属于深紫外投影光刻物镜装调技术领域，为解决现有光学元件检测装置存在的对镜片面型影响大、支撑力不均匀的问题，该装置包括光学元件、多个气囊、底座、充气管和转接头；光学元件放置于多个气囊上；所述的多个气囊在底座上面沿圆周均匀分布设置；气囊通过转接头与充气管相连接；所述气囊包括气袋，底部两侧设置两排螺纹孔，底部设置进气孔；底座包括长孔、螺钉孔、减重孔和凹槽；气囊的进气孔伸入底座的长孔内；所述的气囊底部的螺纹孔与底座上的螺钉孔通过螺钉相连接；减重孔设置在底座中心圆形区域；凹槽与充气管配合；有效降低调整力对光学元件面型的影响；避免了机械夹持时出现的三叶像差和像散。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 投影 物镜 系统 光学 元件 气囊 支撑 装置 | ||
【主权项】：
光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置，包括光学元件（1）、多个气囊（2）、底座（3）、充气管（4）和转接头（5）；其特征是，光学元件（1）放置于多个气囊（2）上；所述的多个气囊（2）在底座（3）上面沿圆周均匀分布设置；气囊（2）通过转接头（5）与充气管（4）相连接。
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