[发明专利]将高斯光束整形为平顶光束的衍射光学元件及制备方法

摘要

本发明提出一种新的实现高斯转平顶的衍射光学元件，简称DOE，并提供了所述DOE的制备方法。在石英基片中心处制备不同形状、不同尺寸的凹槽或台阶，而后将DOE置于光路中的不同位置，与扩束准直镜以及聚焦透镜配合，实现平顶光束。本发明所涉及DOE具有以下几个突出优点：能量透过率高，对入射激光模式变化较不敏感，安装使用简单、灵活。

主权项

一种将高斯光束整形为平顶光束的衍射光学元件，所述衍射光学元件简称DOE，所述DOE可以将圆形高斯光束整形为正方形或圆形平顶光束，其特征是， 实现正方形平顶光束的DOE结构为石英基片的中心区域有正方形凹槽或台阶；凹槽或台阶的边长根据应用要求确定；台阶或凹槽的高度或深度由公式决定：h=λ/2*(n‑1)，其中，h为台阶高度或凹槽深度，λ为入射激光波长，n为基底折射率； 实现圆形平顶光束的DOE结构为石英基片的中心区域有圆柱形凹槽或台阶；凹槽或台阶的直径根据应用要求确定；台阶或凹槽的高度或深度由公式决定h=λ/2*(n‑1)，其中，h为台阶高度或凹槽深度，λ为入射激光波长，n为基底折射率。