[发明专利]薄膜晶体管与显示阵列基板及其制作方法

摘要

一种薄膜晶体管的制作方法，包括在一基板上形成栅极及覆盖该栅极的栅极绝缘层；在栅极绝缘层上对应栅极的位置依次形成半导体层、欧姆接触材料层及金属层；图案化金属层，在欧姆接触材料层上形成源极与漏极，源极与漏极之间形成一开口，且自开口处仅曝露出欧姆接触材料层；形成至少一绝缘材料层以覆盖形成有该开口、该源极与漏极的基板；图案化该至少一绝缘材料层，去除对应该开口处的该绝缘材料层与该欧姆接触材料层，形成欧姆接触层，并曝露出半导体层，从而形成一半导体沟道，以及去除对应该漏极处的该至少一绝缘材料层，并曝露出部分该漏极，从而形成一连接孔。还提供一种具有该薄膜晶体管的显示阵列基板的制作方法。

主权项

一种薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，该制作方法包括：在一基板上形成栅极及覆盖该栅极的栅极绝缘层；在该栅极绝缘层上对应栅极的位置依次形成半导体层、欧姆接触材料层及一金属层，该半导体层与该欧姆接触材料层层叠设置；图案化该金属层，从而在该欧姆接触材料层上形成源极与漏极，在该源极与漏极之间形成一开口，且自该开口处仅曝露出该欧姆接触材料层；形成至少一绝缘材料层以覆盖形成有该开口、该源极与漏极的基板；图案化该至少一绝缘材料层，去除对应该开口处的该绝缘材料层与该欧姆接触材料层，形成欧姆接触层，并曝露出该半导体层，从而形成一半导体沟道，以及去除对应该漏极处的该至少一绝缘材料层，并曝露出部分该漏极，从而形成一连接孔。