[发明专利]有机钌络合物以及使用该钌络合物的钌薄膜的制造方法无效
| 申请号： | 201310302821.6 | 申请日： | 2007-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN103408598A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 角田巧;长谷川千寻;金户宏树;二瓶央 | 申请（专利权）人： | 宇部兴产株式会社 |
| 主分类号： | C07F15/00 | 分类号： | C07F15/00;C23C16/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的通式(1-1)(式中，X表示通式(1-2)表示的基团(式中，Ra和Rb表示碳原子数为1～5的直链或支链状烷基。)，Y表示通式(1-2)表示的基团或碳原子数为1～8的直链或支链状烷基，Z表示氢原子或碳原子数为1～4的烷基。L表示具有至少2个双键的不饱和烃化合物)所表示的有机钌络合物、双(乙酰丙酮根)(1，5-己二烯)合钌以及双(乙酰丙酮根)(1，3-戊二烯)合钌具有低熔点，对水分、空气和热的稳定性优异，且适用于CVD法成膜。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 络合物 以及 使用 薄膜 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种双(乙酰丙酮根)(1，5-己二烯)合钌，其用式(2-1)表示，![]()
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