[发明专利]一种微米、亚微米级颗粒样品原位同位素元素组成自动测量方法

摘要

本发明公开了一种微米、亚微米级颗粒样品原位同位素元素组成自动测量方法，其步骤为：颗粒样品均匀的分布在平整导电载体表面；通过移动承载样品的步进电机使得样品移动到事先已设定好坐标的目标区域。采用一次离子束逐行扫描目标区域，获得目标区域的二次离子图像。所获二次离子图像输入到二次离子图像处理装置，识别出颗粒样品的数量、位置、轮廓及强度信息。再经过颗粒序列分析装置得到每个颗粒的扫描位置、扫描区域大小、以及扫描积分时间。在每个颗粒上进行扫描轰击，获得样品二次离子。二次离子经过质谱系统，接收装置，最后由计算机算出每个颗粒的同位素比值或元素比值。

主权项

一种微米、亚微米级颗粒样品原位同位素元素组成自动测量方法，其特征在于，该测量方法的步骤为：第一步：颗粒样品均匀的分布在平整导电载体表面；第二步：给出所需要进行扫描的颗粒的目标区域坐标序列；第三步：通过移动承载样品的步进电机使得样品移动到事先已设定好坐标的目标区域，离子源产生一次离子经过高压加速后达到样品表面，电压偏转板偏转离子束逐行扫描轰击颗粒样品，获得样品二次离子；第四步：二次离子通过高压引出加速，经过质谱系统之后根据离子质量数之间的差异被分离出来，然后分别被不同接收装置接收，从而获得二次离子图像；第五步：所获二次离子图像输入到二次离子图像处理装置，识别出颗粒样品的数量、位置、轮廓及强度信息；这些信息以序列形式存储在计算机内存中，称为颗粒序列信息；第六步：上一步获得的颗粒序列信息传输到颗粒序列分析装置，颗粒序列分析装置输出颗粒序列中所对应的每个颗粒的扫描位置、扫描区域大小、以及扫描积分时间；依次对颗粒序列中每个颗粒进行以下操作：偏转一次离子束到扫描位置，在扫描区域内进行扫描轰击，获得样品二次离子再通过质谱系统，分离出不同质量数的元素或同位素二次离子，被不同接收器接收，传送给计算机计算出同位素比值或元素比值；第七步：对第二步中所有目标区域坐标序列中的目标区域重复第三步到第六步。