[发明专利]一种基于横向摩擦的单表面摩擦发电机及其制备方法有效
| 申请号： | 201310293792.1 | 申请日： | 2013-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN103337985A | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 张海霞;刘雯;韩梦迪;孙旭明;孟博 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H02N1/04 | 分类号： | H02N1/04;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市商泰律师事务所 11255 | 代理人： | 毛燕生 |
| 地址： | 100871 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及MEMS集成加工技术领域，特别涉及一种基于横向摩擦的单表面摩擦发电机及其制备方法，通过两组相同结构相对、相互水平摩擦组成，其中，所述结构包含五层，最外层为导电层，与导电层相邻的为薄膜层，薄膜层另一侧设有薄膜纳米结构层，薄膜纳米结构层另一侧设有金属电极，金属电极另一侧设有金属电极纳米结构层；本发明的优势在于：同传统的竖直方向的两层薄膜发电机相比，该单层结构利用了水平方向的摩擦力，而且电极输出在同一平面，有利于后续的加工与集成，本发明提出的纳米发电机及其制备方法工艺简单、成本低、产率高、可批量生产，易于集成加工且所提出新型结构有效的利用了自然界中水平方向的摩擦。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 横向 摩擦 表面 发电机 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于横向摩擦的单表面摩擦发电机，其特征在于:通过两组相同结构相对、相互水平摩擦组成，其中，所述结构包含五层，最外层为导电层，与导电层相邻的为薄膜层，薄膜层另一侧设有薄膜纳米结构层，薄膜纳米结构层另一侧设有金属电极，金属电极另一侧设有金属电极纳米结构层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京大学，未经北京大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310293792.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：晶圆透镜聚合体的制造方法及晶圆透镜聚合体
- 下一篇：排气净化装置
