[发明专利]一种单片嵌入结构集成硅加速度和压力复合传感器在审
| 申请号： | 201310293764.X | 申请日： | 2013-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN104297520A | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 张扬熙;高成臣;杨琛琛;孟凡瑞 | 申请（专利权）人： | 苏州美仑凯力电子有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12;G01L1/20;G01L9/02;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及微电子机械(MEMS)加工领域，尤其涉及一种单片嵌入结构集成硅加速度和压力复合传感器。本发明的目的在于，设计一种单片嵌入结构集成硅加速度和压力复合传感器，并给出一种制造该传感器的典型加工方法。所述复合传感器为一体式设计，所述加速度计包括带力敏电阻的质量块一弹性膜片结构，所述压力计包括带有力敏电阻的压力敏感膜片和密封的预制空腔。所述方法包括如下步骤：应力集中结构加工步骤(可选)；敏感电阻加工步骤；金属引线层加工步骤；加速度计质量块一弹性膜结构加工步骤。本发明将加速度计和压力计设计在同一区域本，节约了芯片面积，在较小面积下实现较高的灵敏度，所制造的传感器同时具有压力计和加速度计功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单片 嵌入 结构 集成 加速度 压力 复合 传感器 | ||
【主权项】：
一种单片嵌入结构集成硅加速度和压力复合传感器，所述加速度计包括带力敏电阻的质量块‑弹性膜片结构，所述压力计包括带有力敏电阻的压力敏感膜片和密封的预制空腔。
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