[发明专利]拱形环结构的马赫曾德尔干涉型光学生化传感器

摘要

本发明公开了一种拱形环结构的马赫曾德尔干涉型光学生化传感器，包括一个输入输出直波导、一个环形谐振腔，所述环形谐振腔包括：第一直波导、左半圆反馈环波导、右半圆反馈环波导、第二直波导、环形波导以及第三直波导；输入输出直波导依次包括输入端、第四直波导、第五直波导、第六直波导以及输出端。本发明通过采用一个非平衡马赫曾德尔干涉仪结构和一个环形谐振腔，基于游标效应，使得二者的传输谱相叠加，获得具有更大的自由光谱范围和较高灵敏度的谐振峰，通过测量这种具有高灵敏度的谐振峰的漂移，从而测得波导内模式有效折射率的变化，进一步获得被测物质折射率和浓度的信息。

主权项

拱形环结构的马赫曾德尔干涉型光学生化传感器，其特征在于，包括一个输入输出直波导、一个环形谐振腔，所述环形谐振腔包括：第一直波导、左半圆反馈环波导、右半圆反馈环波导、第二直波导、环形波导以及第三直波导，所述第二直波导和第三直波导共线，所述输入输出直波导、第一直波导与第二直波导和第三直波导平行，左半圆反馈环波导的两端分别延伸出第一直波导的第一端和第二直波导的第一端，右半圆反馈环波导的两端分别延伸出第一直波导的第二端和第三直波导的第二端，环形波导的两端分别延伸出第二直波导的第二端和第三直波导的第一端；输入输出直波导依次包括输入端、第四直波导、第五直波导、第六直波导以及输出端；所述第二直波导与第四直波导构成第一方向耦合器，所述第三直波导与第六直波导构成第二方向耦合器，所述环形波导与第五直波导构成马赫曾德尔干涉仪结构，所述环形波导作为马赫曾德尔干涉仪结构的弯曲臂，所述第五直波导作为马赫曾德尔干涉仪结构的直臂。