[发明专利]带有正交误差补偿的角速率传感器在审
| 申请号： | 201310277351.2 | 申请日： | 2013-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN103542844A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 林义真 | 申请（专利权）人： | 飞思卡尔半导体公司 |
| 主分类号： | G01C19/5762 | 分类号： | G01C19/5762 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 郭思宇 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及带有正交误差补偿的角速率传感器。角速率传感器（20）包括柔性地耦合到衬底（22）的驱动块(36)。传感块(42)悬浮于衬底（22）之上并通过柔性支撑元件(44)柔性地与驱动块(36)相连接。正交补偿电极(24)与驱动块(36)相关联以及传感电极(28)与传感块(42)相关联。驱动块(36)和传感块(42)响应于正交误差相对于传感轴(50)振荡。正交误差在正交补偿电极(24)和驱动块(36)之间产生信号误差分量(78)以及在传感电极(28)和传感块(42)之间产生信号误差分量(76)。补偿和传感电极（24、28）以相反极性耦合以便信号误差分量(78)基本上抵消信号误差分量(76)。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 正交 误差 补偿 速率 传感器 | ||
【主权项】：
一种角速率传感器，包括：衬底；柔性地耦合到所述衬底的驱动块；悬浮于所述衬底之上并通过柔性支撑元件柔性地与所述驱动块相连接的传感块；与所述驱动块相关联的第一电极；以及与所述传感块相关联的第二电极，所述第二电极与所述第一电极以相反极性电耦合以便所述第一电极和所述驱动块之间的第一误差分量基本上抵消所述第二电极和所述传感块之间的第二误差分量。
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