[发明专利]半导体元件有效
申请号: | 201310272103.9 | 申请日: | 2013-07-01 |
公开(公告)号: | CN104282658B | 公开(公告)日: | 2017-05-17 |
发明(设计)人: | 蔡博仰;吴展良 | 申请(专利权)人: | 奇景光电股份有限公司;奇景半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/544 | 分类号: | H01L23/544 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种半导体元件,其包括基板以及配置于基板上且具有至少一缕空图案的至少一对位标记。通过缕空图案,对位标记的辨识度可提高。 | ||
搜索关键词: | 半导体 元件 | ||
【主权项】:
一种半导体元件,包括:基板;以及至少一对位标记,配置于该基板上且具有至少一缕空图案,其中该缕空图案包括多个子缕空图案,而该些子缕空图案实质上相同,每一该子缕空图案包括T形图案、1形图案以及L形图案,而该T形图案、该1形图案以及该L形图案彼此分离。
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