[发明专利]一种用于扩散炉管的晶座

摘要

本发明公开了一种用于扩散炉管的晶座，包含互相平行设置的顶座、底座；垂直设置在顶座与底座之间的多个支撑体，各所述支撑体平行间隔设置在顶座和底座的边缘；垂直间隔设置在支撑体上的多个基座。所述基座为片状，其材料为石英。本发明易于控制基座的质量，能有效控制生产的晶圆产品的扩散层厚度，并控制扩散生产过程中晶圆产品的表面颗粒数量，提高产品质量和合格率。

主权项

一种用于扩散炉管的晶座，晶座是用于支撑晶舟的一个支撑体，其不接触半导体晶圆，在生产半导体晶圆时候，晶座、晶舟和半导体晶圆均设置在扩散炉管内，其特征在于，包含互相平行设置的顶座（1）、底座（2）；垂直设置在顶座（1）与底座（2）之间的多个支撑体（3），各所述支撑体（3）平行间隔设置在顶座（1）和底座（2）的边缘；垂直间隔设置在支撑体（3）上的多个基座（4）；所述基座（4）为片状，其上表面和下表面均为一个单一的平面，使得酸洗后的表面比较平整，不受外力的摩擦，在扩散过程中脱落石英微粒而导致晶圆表面颗粒增加的几率降低。