[发明专利]光学式粒子检测装置以及粒子的检测方法无效
申请号: | 201310247288.8 | 申请日: | 2013-06-20 |
公开(公告)号: | CN103512863A | 公开(公告)日: | 2014-01-15 |
发明(设计)人: | 衣笠静一郎 | 申请(专利权)人: | 阿自倍尔株式会社 |
主分类号: | G01N21/53 | 分类号: | G01N21/53;G01N21/64 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人: | 肖华 |
地址: | 日本东京都千代田*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种能够与照射粒子的光的波长的变更相对应的光学式粒子检测装置以及粒子的检测方法。该光学式粒子检测装置包括:发出检查光的光源(1)、将检查光转换为平行光的转换单元(21)、具有焦点并将被转换为平行光的检查光朝焦点反射的聚光反射镜(31)、对聚光反射镜(31)的焦点喷射包含粒子的气流的喷射机构(3)、和对气流中包含的粒子因被照射检查光而产生的散射光或者荧光进行检测的光检测部(4)。 | ||
搜索关键词: | 光学 粒子 检测 装置 以及 方法 | ||
【主权项】:
一种光学式粒子检测装置,其特征在于,具有:发出检查光的光源;将所述检查光转换为平行光的转换单元;朝着焦点对被转换为所述平行光的检查光进行反射的聚光反射镜;对所述聚光反射镜的焦点喷射包含粒子的气流的喷射机构;以及对所述气流所包含的粒子因被照射所述检查光而产生的散射光或者荧光进行检测的光检测部。
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