[发明专利]压电驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法

摘要

本发明涉及一种压电驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法，包括：一个不带释放孔的压电圆盘振子，一个圆柱形的支撑柱，分布于圆盘振子上的驱动电极，以及分布于基板上的检测电极、平衡电极和公共电极。所述驱动电极分布于所述圆盘振子上；所述检测电极、平衡电极和公共电极呈圆周分布于所述基板上并位于所述圆盘振子下方，同时与所述圆盘振子平行且有一间隙；该陀螺利用压电效应进行陀螺驱动。同时利用非接触式的平衡电极给下电极施加电势，使得陀螺结构得到了优化。该微陀螺的制作方法采用MEMS加工工艺，制作工艺简单，可靠性高，能保证较低的成本和较高的成品率。本发明体积小，结构简单，加工工艺易于实现，适用于批量化生产。

主权项

一种压电驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺，其特征在于包括：不带释放孔的压电圆盘振子，圆柱形的支撑柱，基板，驱动电极，检测电极，平衡电极和公共电极；所述圆盘振子通过所述圆柱形的支撑柱固定在基板上，且所述圆盘振子垂直于所述基板的z轴；所述驱动电极分布于所述圆盘振子上；所述检测电极、平衡电极和公共电极呈圆周分布于所述基板上并位于所述圆盘振子下方，同时与所述圆盘振子平行且有一间隙；所述公共电极分布于平衡电极与检测电极之间，所述检测电极、所述平衡电极和所述公共电极按照两个平衡电极、一个公共电极、两个检测电极、一个公共电极、两个平衡电极的排列顺序交叉循环分布。