[发明专利]用于光学和电子器件的图案化功能结构基板有效
申请号: | 201310238524.X | 申请日: | 2013-06-17 |
公开(公告)号: | CN103354219A | 公开(公告)日: | 2013-10-16 |
发明(设计)人: | 高鞠 | 申请(专利权)人: | 苏州晶品光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/14 | 分类号: | H01L23/14;H01L23/13;H01L23/373 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 215211 江苏省苏州市吴江区汾*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及用于光学和电子器件的图案化功能结构基板,包括金属基体和功能陶瓷层,在所述金属基体与功能陶瓷层之间具有活性钎焊合金层;并且通过掩模对所述功能陶瓷层以及活性钎焊合金层进行选择性蚀刻形成多个隔离基座;并且在所述隔离基座上形成金属电路。本发明所述的用于光学和电子器件的图案化功能结构,具有更大尺寸的金属基板,并且可以容纳多个光学和/或电子器件,而且所述的多个光学和/或电子器件之间具有良好的电隔离和热隔离。 | ||
搜索关键词: | 用于 光学 电子器件 图案 功能 结构 | ||
【主权项】:
一种光学和电子器件的图案化功能结构基板,其特征在于包括金属基体和功能陶瓷层,在所述金属基体与功能陶瓷层之间具有活性钎焊合金层;并且通过掩模对所述功能陶瓷层以及活性钎焊合金层进行选择性蚀刻形成多个隔离基座;并且在所述隔离基座在所述功能陶瓷层上形成金属电路。
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