[发明专利]沉积结晶二氧化钛纳米颗粒和薄膜的方法无效
| 申请号： | 201310238285.8 | 申请日： | 2008-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN103382546A | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 胡振东;车勇;刘冰 | 申请（专利权）人： | IMRA美国公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/28;C23C14/08;C30B23/04;C30B29/16;C03C17/245 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 王维绮 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种一步式和室温处理工艺，利用超快脉冲激光烧蚀氧化钛或金属钛靶将金属氧化物，如结晶二氧化钛(TiO2)的纳米颗粒或纳米复合材料(纳米颗粒组合的)薄膜沉积在基片表面上。所述系统包括脉冲激光，它的脉冲持续时间范围从几飞秒至几十皮秒；光学设置，用于处理激光束，使得激光束以适当的平均能量密度和适当的能量密度分布聚焦在靶表面上；和真空腔，其中安装有靶和基片，并且在其中可适当调节背景气体和它们的压强。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 结晶 氧化 纳米 颗粒 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种将结晶金属氧化物的纳米颗粒或纳米复合材料薄膜沉积在基片上的方法，所述方法包括：提供靶，所述靶由金属或金属氧化物材料构成；提供基片，以便承载结晶金属氧化物的沉积颗粒或薄膜；和用超快激光脉冲烧蚀所述靶的区域，以形成朝向所述基片的颗粒羽流。
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