[发明专利]共聚焦计测装置

摘要

本发明提供一种能够达到高计测精度的共聚焦计测装置。共聚焦计测装置（101）具有光源（21），其出射多个波长的光；衍射透镜（1），其使来自光源（21）的光产生色像差；物镜（2），其将产生了色像差的光聚集到计测对象物（200）；针孔（光纤（11）），其使聚焦的光通过；测定部（光谱仪（23）及摄像元件（24）），其针对不同的波长测定光的强度。衍射透镜（1）具有形成有用于产生色像差的衍射图案的衍射面（1a）和位于衍射面（1a）的相反一侧的平面（1b）。在衍射透镜（1）的平面（1b）配置有以衍射透镜（1）的光轴（X）为中心的圆形的遮光膜（4）。

主权项

一种共聚焦计测装置，利用共聚焦光学系统，来对计测对象物的位移进行计测，其特征在于，具有：光源，其出射多个波长的光，衍射透镜，其具有衍射面和平面，所述衍射面形成有用于产生色像差的衍射图案，所述平面位于所述衍射面的相反一侧，所述衍射透镜使从所述光源出射的光沿着光轴方向产生色像差，物镜，其配置在比所述衍射透镜更靠近所述计测对象物的一侧，将在所述衍射透镜产生了色像差的光聚集到所述计测对象物，针孔，其使利用所述物镜聚集的光中的在所述计测对象物聚焦的光通过，测定部，其针对每个波长，测定通过了所述针孔的光的强度；所述衍射透镜具有以所述衍射透镜的光轴为中心的轴对称形状的减光部；在所述衍射面上，将所述衍射图案设置为环状，所述减光部包括被所述衍射图案包围的配置在所述衍射面的中央的平面，配置在所述衍射面的中央的平面使通过所述衍射透镜的中央并返回所述针孔的光衰减。