[发明专利]电阻置顶型微推进器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种电阻置顶型微推进器及其制备方法，属于微推进技术和微机电系统(MEMS)领域。该微推进器点火电阻7由多组电阻丝组成，且电阻丝宽度与电阻丝长度设计成一定比例，以调整燃料燃烧行为，利于燃料充分燃烧；喷嘴4为中间收缩两端扩张的类laval结构，能够改善气流流动方式，有效提高燃料能量利用率；点火电阻7位于喷嘴4周围，其在填药、组装等时不易被破坏。本发明提出的电阻置顶型微推进器的制备方法易于实现器件加工稳定性和一致性；易于实现批量加工。

主权项

电阻置顶型微推进器，依次包括上层结构体（1）、中间结构体（2）和下层结构体（3）；其特征在于：所述上层结构体（1）、中间结构体（2）均为硅材料；上层结构体（1）厚度方向上有中间收缩两端扩张的类laval结构的喷嘴（4），所述上层结构体（1）下表面绕喷嘴周围分布点火电阻（7），点火电阻（7）两端与两个上转接电极（6）相连，两个转接电极（6）外边缘各分布一个打线槽（5）；中间结构层（2）内部有填充药品（17）的燃烧室（10），燃烧室（10）两端有配合槽（8），配合槽（8）用于上转接电极（6）与其内部的下转接电极（9）欧姆接触形成联通电路；下转接电极（9）一部分与上转接电极（6）欧姆接触，另外部分通过打线槽（5）露出，用于打线；下层结构体（3）用于封闭燃烧室（10）。