[发明专利]一种对阻变存储器阵列进行测试的系统有效
| 申请号： | 201310218444.8 | 申请日： | 2013-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN104217766B | 公开（公告）日： | 2018-02-06 |
| 发明（设计）人： | 姚志宏;余兆安;吕杭炳;霍宗亮;谢常青;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G11C29/56 | 分类号： | G11C29/56 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种对阻变存储器阵列进行测试的系统，包括探针台，用于承载待测阻变存储器阵列；探针卡，用于实现硬件地址电路与待测阻变存储器阵列的良好连接；硬件地址选择电路，用于完成待测阻变存储器阵列指定端口的地址译码和选通工作；恒压源表，用于向硬件地址选择电路提供直流电压；测量源表，用于提供器件测试所需要的操作电压；控制主机，用于控制整个系统进行不同类型的测试操作，并完成测试结果数据的输出和统计分析。针对具有特殊结构阻变存储器阵列的性能无法评估的问题，本发明利用现有实验设备，不仅低成本地实现了器件性能的测试和评估，而其为后续其它阵列结构器件的测试和检测提供了一种思路和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 存储器 阵列 进行 测试 系统 | ||
【主权项】：
一种对阻变存储器阵列进行测试的系统，针对1T1R结构的阻变存储器阵列，其特征在于，该系统包括：探针台，用于承载待测阻变存储器阵列；探针卡，用于实现硬件地址电路与待测阻变存储器阵列的良好连接；硬件地址选择电路，用于完成待测阻变存储器阵列指定端口的地址译码和选通工作；恒压源表，用于向硬件地址选择电路提供直流电压；测量源表，用于提供器件测试所需要的操作电压；以及控制主机，用于控制整个系统进行不同类型的测试操作，并完成测试结果数据的输出和统计分析；其中，所述硬件地址选择电路是具有多行多列地址的阵列结构，能够对指定端口进行选通和操作；所述恒压源表向硬件地址选择电路提供的直流电压为±6V至±25V之内的直流电压，同时用于防止电流过大，能够进行限流保护。
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