[发明专利]用于浸没式光刻机的多级负压回收密封和气密封装置

摘要

本发明公开了用于浸没式光刻机的多级负压回收密封和气密封装置。在浸没式光刻机中的投影物镜组和硅片之间装有由浸没单元上端盖和浸没单元下端盖组成的多级负压回收密封和气密封装置。本发明利用负压回收液体的同时，还能对液体实现密封。多级负压回收适应硅片较高的扫描速度，提高密封的效果；在浸没单元外侧采用气密封结构，在气体压力均布腔的作用下，密封气体能够很好的约束浸没液体，允许光刻系统具有更高的扫描和步进速度；负压回收密封和气密封结合使用能更好地约束浸没液体，防止浸没单元的内部液体在高速扫描时发生泄漏。

主权项

一种用于浸没式光刻机的多级负压回收密封和气密封装置，在浸没式光刻机中的投影物镜组(1)和硅片(3)之间设置有多级负压回收密封和气密封装置(2)；其特征在于：所述多级负压回收密封和气密封装置(2)包括浸没单元下端盖(2A)和浸没单元上端盖(2B)；其中：1) 浸没单元下端盖(2A)：在浸没单元下端盖(2A)中心开有下小上大的90°锥形通孔，沿浸没单元下端盖(2A)的90°锥形通孔向外，在浸没单元下端盖(2A)的上端面上开有一个环状的下端盖液体主回收腔(4C)，下端盖液体主回收腔(4C)内开有沿圆周方向均匀分布的下端盖液体主回收孔阵列(4A)，下端盖液体主回收腔(4C)向外在浸没单元下端盖(2A)的上端面上开有下端盖液体二级回收腔(5C)，在下端盖液体二级回收腔(5C)内部开有沿圆周方向均匀分布的下端盖液体二级回收孔阵列(5A)，下端盖液体二级回收腔(5C)向外开有下端盖液体三级回收腔(6C)，在下端盖液体三级回收腔(6C)内部开有沿圆周方向均匀分布的下端盖液体三级回收孔阵列(6A)，下端盖液体三级回收腔(6C)向外开有下端盖注气腔 (7C)，在下端盖注气腔(7C)内部开有沿圆周方向均匀分布的下端盖注气孔阵列(7A)，向下在浸没单元下端盖(2A)的下端面上开有气体压力均布腔(7D)，气体压力均布腔(7D)向上与下端盖注气孔阵列(7A)相连通；2) 浸没单元上端盖(2B)：在浸没单元上端盖(2B) 中心开有下小上大的90°锥形通孔，沿浸没单元上端盖(2B)的90°锥形通孔向外，在浸没单元上端盖(2B)的下端面上开有一个环状的上端盖注液腔(3C)，上端盖注液腔(3C)向外在浸没单元上端盖(2B)的下端面上开有两个对称的上端盖注液槽(3B)，并与上端盖注液腔(3C)连通，上端盖注液槽(3B)向外在浸没单元上端盖(2B)的下端面上开有上端盖第一密封沟槽(8B)，上端盖第一密封沟槽(8B)向外在浸没单元上端盖(2B)的下端面上开有两个上端盖主回收槽(4B)，上端盖主回收槽(4B)向外在浸没单元上端盖(2B)的下端面上开有上端盖第二密封沟槽(9B)，上端盖第二密封沟槽(9B)向外在浸没单元上端盖(2B)的下端面上开有两个上端盖二级回收槽(5B)，上端盖二级回收槽(5B)向外在浸没单元上端盖(2B)的下端面上开有上端盖第三密封沟槽(10B)，上端盖第三密封沟槽(10B)向外在浸没单元上端盖(2B)的下端面上开有两个上端盖三级回收槽(6B)，上端盖三级回收槽(6B)向外在浸没单元上端盖(2B)的下端面上开有上端盖第四密封沟槽(11B)，上端盖第四密封沟槽(11B)向外在浸没单元上端盖(2B)的下端面上开有两个上端盖注气槽(7B)；上端盖第一密封沟槽(8B)、上端盖第二密封沟槽(9B)、上端盖第三密封沟槽(10B)和上端盖第四密封沟槽(11B)内分别放置密封圈；在浸没单元上端盖(2B)的一外侧开有第一上端盖注液管道(3E)、第一上端盖主回收管道(4E)、第一上端盖二级回收管道(5E)、第一上端盖三级回收管道(6E)、第一上端盖注气管道(7E)，在浸没单元上端盖(2B)的另一外侧开有第二上端盖注液管道(3F)、第二上端盖主回收管道(4F)、第二上端盖二级回收管道(5F)、第二上端盖三级回收管道(6F)、第二上端盖注气管道(7F)；两个上端盖主回收槽(3B)分别与第一上端盖注液管道(3E)和第二上端盖注液管道(3F)连通；两个上端盖主回收槽(4B)分别与第一上端盖主回收管道(4E)和第二上端盖主回收管道(4F)连通；两个上端盖二级回收槽(5B)分别与第一上端盖二级回收管道(5E)和第二上端盖二级回收管道(5F)连通；两个上端盖三级回收槽(6B)分别与第一上端盖三级回收管道(6E)和第二上端盖三级回收管道(6F)连通；两个上端盖注气槽(7B)分别与第一上端盖注气管道(7E)和第二上端盖注气管道(7F)连通；第一上端盖注液管道(3E)、第一上端盖主回收管道(4E)、第一上端盖二级回收管道(5E)、第一上端盖三级回收管道(6E)、第一上端盖注气管道(7E)和第二上端盖注液管道(3F)、第二上端盖主回收管道(4F)、第二上端盖二级回收管道(5F)、第二上端盖三级回收管道(6F)、第二上端盖注气管道(7F)用于连接外部管道，将浸没流体从浸没单元内部引入和引出；所述的浸没单元下端盖(2A)和浸没单元上端盖(2B)的接触面均为环形平面，并通过螺钉紧固连接。