[发明专利]一种应用热交换生产多晶硅铸锭的方法

摘要

本实用新型涉及一种应用热交换生产多晶硅铸锭的方法，该方法包括下列要素和步骤：A、将多晶硅铸锭炉内的两侧的加热器增高，使之与坩埚的高度相近或相一致；B、将热交换台的平面状热交换面设计成弧形状的热交换面；C、功率控制：将多晶炉内的顶部加热器的功率控制在45～55%之间，剩余功率则提供给两侧的加热器，并始终保持不变；D、熔料；E、分布长晶。采用本发明，由于顶部加热器和两侧加热器的功率相对均匀分配，弧形状的热交换面使底部散热均衡，能有效的保持多晶炉内横向和纵向温梯均衡，确保长晶过程中减少位错，降低杂质沉积，从而提高多晶硅少子寿命和光电转换效率。

主权项

一种应用热交换生产多晶硅铸锭的方法，其特征在于它包括下列要素和步骤：A、将多晶硅铸锭炉内的两侧的加热器增高，使之与坩埚的高度相近或相一致；B、将热交换台的平面状热交换面设计成弧形状的热交换面；C、功率控制：将多晶炉内的顶部加热器的功率控制在45～55%之间，剩余功率则提供给两侧的加热器，并始终保持不变；D、熔料：将多晶炉加热升温，使炉内的多晶硅料全部熔化；E、分布长晶：第一步，提升炉内的隔热板开口至5～7㎝，保持炉内温度在1430～1440℃之间，恒温0.5～1.5小时；第二步，继续提升炉内的隔热板开口至7～9㎝，保持炉内温度在1425～1430℃之间，恒温2.5～3.5小时；第三步，继续提升炉内的隔热板开口至9～11㎝，保持炉内温度在1420～1425℃之间，恒温6.5～8.5小时；第四步，继续提升炉内的隔热板开口至11～12㎝，保持炉内温度在1410～1420℃之间，恒温6.5～8.5小时，直至长晶完毕。