[发明专利]一种用于双层周期性微结构的层间错位测试方法

摘要

一种用于双层周期性微结构的层间错位测试方法，用于测试双层光栅结构的层错位间距δ，包括层错位间距-衍射光方程F拟合过程，测量固定层错位间距δ下的光栅的零级衍射光关注参数并取得关注参数的波长曲线；进一步取得一组等差离散序列定义的层错位间距值（δ0，δ1，δ2…）所对应的关注参数的波长曲线组；在曲线组中选择随δ变化，关注参数变化最敏感的波长区间FQ，拟合出特定波长范围内的平均层错位间距-衍射光方程F2；在得到F2后，测量层错位间距时，使用处于FQ区间内的窄谱偏振光源测量零级衍射光的平均关注参数值，即可得出待测双层结构的层错位间距。

主权项

1.一种用于双层周期性微结构的层间错位测试方法，用于测试双层光栅结构的层错位间距，包括层错位间距-衍射光方程F拟合过程，所述层错位间距-衍射光方程拟合过程包括如下步骤：步骤101.以单色偏振的平行光沿一定角度入射待测双层结构表面，测量零级衍射光的关注参数F；单色偏振光扫频输出，得到在固定层错位间距下的关注参数的波长曲线；步骤102.仅等差的改变步骤1中的层错位间距，多次重复步骤101，取得一组由等差离散序列的层错位间距值对应的关注参数F的波长曲线组F1(,)；其中为波长；步骤103.在曲线组F1(,)中选择随变化，关注参数变化最敏感的波长区间FQ，对处于FQ内的任一固定波长，利用不同层错位间距对应的若干个关注参数F的值，拟合出该波长下的关注参数随层错位间距变化的函数；改变波长重复拟合，得到在FQ区间内的各个波长下的关注参数随层错位间距变化的函数F2()，作为层错位间距-衍射光方程F；所述用于双层周期性微结构的层间错位测试方法在得到F2()后，测量层错位间距时，使用处于FQ区间内的任意单色偏振光沿与步骤101中同样的入射角度入射待测双层结构，测量零级衍射光的关注参数，按照对应的关注参数值和波长值，即可得出待测双层结构的层错位间距。