[发明专利]基于微机械悬臂梁结构的温度保护器件

摘要

本发明公开了一种基于微机械悬臂梁结构的温度保护器件，包括硅衬底、设置在硅衬底上的悬臂梁和压焊快，悬臂梁的一端设置在硅衬底上，另一端对应悬空在压焊快的上方，悬臂梁由从上至下依次连接设置的悬臂梁上层结构、悬臂梁中层结构和悬臂梁下层结构构成，悬臂梁上层结构的热膨胀系数大于悬臂梁下层结构的热膨胀系数，悬臂梁受热膨胀向下弯曲后，悬空的一端与下方的压焊块接触。本发明采用MEMS加工技术，利用不同材料热膨胀系数的不同，使MEMS悬臂梁的翘曲形态发生变化，从而实现信号通断，达到温度保护目的的微结构，灵敏度高，可控性好，电路结构简单，体积小、功耗低，并解决了在材料、工艺、可重复性和生产成本等诸多方面的问题。

主权项

一种基于微机械悬臂梁结构的温度保护器件，其特征在于，该传感器包括硅衬底（1）、设置在所述硅衬底（1）上的悬臂梁和压焊快（2），所述悬臂梁的一端设置在硅衬底（1）上，另一端对应悬空在压焊快（2）的上方，悬臂梁由从上至下依次连接设置的悬臂梁上层结构（3）、悬臂梁中层结构（4）和悬臂梁下层结构（5）构成，所述悬臂梁上层结构（3）的热膨胀系数大于悬臂梁下层结构（5）的热膨胀系数，悬臂梁受热膨胀向下弯曲后，悬空的一端与下方的压焊块（2）接触。