[发明专利]模具制作用坯料及模具的制造方法有效
| 申请号： | 201310182369.4 | 申请日： | 2013-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN103424986A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 深谷创一;中川秀夫;笹本纮平 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 金龙河;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及模具制作用坯料及模具的制造方法。本发明提供能够在确保由铬系材料构成的硬掩模膜的硬掩模功能的同时通过提高该硬掩模膜的干蚀刻速度来提高蚀刻加工性的新技术。设置在衬底(1)上的硬掩模膜(2)由含有锡的铬系材料形成。对于构成硬掩模膜(2)的含有锡的铬系材料而言，对氟类干蚀刻条件的蚀刻耐性与不含锡的铬系材料膜的蚀刻耐性同等或者在其以上，而且在氯类干蚀刻条件下显示出与不含锡的铬系材料膜相比显著高的蚀刻速度。结果，氟类干蚀刻的时间缩短而减轻对抗蚀剂图案的损伤，能够以高精度进行图案转印。 | ||
| 搜索关键词： | 模具 制作 坯料 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种模具制作用坯料，其中，在能够进行氟类干蚀刻的衬底上具备由含有锡的铬系材料构成的硬掩模膜。
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