[发明专利]基于子孔径拼接干涉检测的窗口玻璃透射波前检测方法

摘要

本发明涉及基于子孔径拼接干涉检测的窗口玻璃透射波前检测方法，根据干涉仪的口径和窗口玻璃的口径计算检测窗口玻璃所需子孔径个数，调整干涉仪与平面镜到自准直使干涉仪上条纹为零条纹；将四维扫描运动平台放置在干涉仪与平面镜之间，四维扫描运动平台带动窗口玻璃扫描运动，调整窗口玻璃与平面镜使干涉仪上的条纹为达到最少；将窗口玻璃调整到第一个子孔径位置，干涉仪检测窗口玻璃并记录此时子孔径透射波前数据；将窗口玻璃调整到第二个子孔径位置，干涉仪检测窗口玻璃并记录此时子孔径透射波前数据，直到窗口玻璃所有子孔径波前数据被检测并记录下来；将所有子孔径波前数据通过算法拼接，得到窗口玻璃全口径透射波前。

主权项

一种基于子孔径拼接干涉检测的窗口玻璃透射波前检测方法，其特征是：利用由干涉仪、窗口玻璃、四维扫描运动平台、平面镜组成检测系统，并通过以下步骤完成对窗口玻璃透射波前的测量步骤如下：步骤S1：根据干涉仪的口径和窗口玻璃的口径计算检测窗口玻璃所需子孔径个数，以其中任意一个子孔径中心坐标为原点，计算其余子孔径中心坐标，并对子孔径进行编号；步骤S2：调整干涉仪与平面镜到自准直使干涉仪上条纹为零条纹；步骤S3：将四维扫描运动平台放置在干涉仪与平面镜之间，将窗口玻璃安装在四维扫描运动平台上；步骤S4：四维扫描运动平台带动窗口玻璃扫描运动，调整窗口玻璃与平面镜使干涉仪上的条纹为达到最少；步骤S5：通过四维扫描运动平台的运动，将窗口玻璃调整到第一个子孔径位置，干涉仪检测窗口玻璃并记录此时子孔径透射波前数据；步骤S6：通过四维扫描运动平台的运动，将窗口玻璃调整到第二个子孔径位置，干涉仪检测窗口玻璃并记录此时子孔径透射波前数据；步骤S7：重复步骤S5、步骤S6直到窗口玻璃所有子孔径波前数据被检测并记录下来；步骤S8：将所有子孔径波前数据通过算法拼接，得到窗口玻璃全口径透射波前，完成对窗口玻璃的透射波前检测。