[发明专利]一种用于薄膜太阳能电池的铜铟镓旋转靶材制备方法有效
| 申请号： | 201310172489.6 | 申请日： | 2013-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN103290372A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 徐从康 | 申请（专利权）人： | 无锡舒玛天科新能源技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;C23C4/08;C23C4/12 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 214192 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铜铟镓旋转靶材的制备方法，包括包含镍铝或镍铬合金层的不锈钢圆筒基体的制备、包含铜铟或铜镓合金层的不锈钢圆筒基体的制备、包含铜铟或铜镓合金层的不锈钢圆筒基体的制备等步骤。该方法采用低压等离子热喷涂方法逐层将镍铝合金、铜铟或铜镓合金、铜铟镓依次固化于不锈钢圆筒基体上形成铜铟镓旋转靶材，克服了现有方法中的绑定工序的缺陷，工艺简单、操作方便、成本低廉，生产出的靶材密度高、孔隙度低、成分均匀、晶粒细小、产率高、质量好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 薄膜 太阳能电池 铜铟镓 旋转 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于薄膜太阳能电池的铜铟镓旋转靶材制备方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）真空或保护气体中，采用低压等离子热喷涂方法将清洁的不锈钢圆筒基体表面喷涂镍铝合金层，同时冷却，得包含镍铝或镍铬合金层的不锈钢圆筒基体；（2）真空或保护气体中，采用低压等离子热喷涂方法将包含镍铝或镍铬合金层的不锈钢圆筒基体表面喷涂铜铟或铜镓合金层，同时冷却，得包含铜铟或铜镓合金层的不锈钢圆筒基体；（3）真空或保护气体中，采用低压等离子热喷涂方法将包含铜铟或铜镓合金层的不锈钢圆筒基体表面喷涂铜铟镓合金层，同时冷却，即得。
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