[发明专利]一种OGS触摸屏黑色边框的制作方法

摘要

本发明公开一种OGS触摸屏黑色边框的制作方法，包括采用真空溅射沉积方法制作无机黑色绝缘薄膜，并与光刻技术结合，实现符合产品要求的黑色遮光区，透过率低于0.1%，电阻率高于1011Ω•cm，厚度小于0.5µm。通过本发明的方法可以提高OGS产品的质量和外观，降低生产过程中出现的不良率，提高生产效率。

主权项

一种OGS触摸屏黑色边框的制作方法，其特征在于，采用光刻技术实现黑色绝缘薄膜图形化，从而形成黑色边框的工艺方案，具体包括以下步骤：（1）清洗，将盖板玻璃插到钛合金制作的碱液槽里进行超声波碱液预清洗，清洗时间：15～20分钟，碱液浓度：1.0～1.5mol/L，碱液槽温度：35±5℃，碱液槽超声频率：60KHz～90KHz，清洗完之后将其投入到清水槽进行超声清洗，温度及超声频率同上；然后将盖板玻璃投入到自动清洗线进行清洗，彻底去除油污和灰尘；自动清洗线包括隔离、纯水刷洗、液切、纯水喷淋、末端滴水、风刀吹干，各部分参数如下：清洗线的传送速度：200±50cm/min，清洗温度：35±5℃，纯水刷洗和纯水喷淋压力：上：0.6±0.1kg/cm2，下：0.4±0.1kg/cm2，液切压力：上：1.0±0.5KPa，下：0.5±0.3KPa，末端滴水的水流量：8～10L/min，吹干压力：上：2.0±0.5KPa，下：1.0±0.5KPa；（2）溅射黑色绝缘薄膜，将清洗好的盖板玻璃放入真空磁控溅射自动生产线，通过机械泵和分子泵抽气，控制真空真空度在10‑4~10‑3Pa范围，通入反应气体氧气，控制氧气的流量在2.0~3.0L/min之间，溅射功率设定在3.0~6.5KW之间，溅射温度设定为室温，通过溅射形成黑色绝缘薄膜；（3）涂胶，把镀有黑色绝缘薄膜的玻璃再次清洗，经过UV固化炉进行水分的烘干，UV固化炉六段都为90mj/mm2，传送速度：2.2±0.2m/min；然后置于一个平台上，利用旋涂机将光刻胶刮涂在玻璃上，光刻胶均匀地附着在整张玻璃基材上，利用旋涂机旋转将光刻胶的厚度控制在几个微米以内，通过IR炉进行预烘；光刻胶的厚度控制在1000~2000nm，均匀性5%以内，预烘温度为80~90℃之间；（4）曝光，对盖板玻璃上的光刻胶层进行曝光，即在光刻胶上光刻电极图形，曝光条件为：紫外光波长：365nm，光通量：100~120mj，电极图案的光罩是铬版，距离基板的尺寸100um~200um；（5）显影和坚膜，对光刻胶进行显影并坚膜硬化，采用NaOH溶液，浓度 0.1~0.08mol/L，温度：20~35℃，时间50秒~120秒，坚膜温度：100~ 120℃，时间30~35分钟；（6）蚀刻，通过蚀刻形成黑色绝缘薄膜层图形，蚀刻使用材料：HNO340%~50%+HO2 40%~50%，温度：40~45℃，时间：120~220秒；（7）去膜，去除光刻胶，形成黑色遮光层图形，即黑色边框，使用材料：NaOH，浓度2.0~1.5mol/L，温度：30~35℃，时间100秒~120秒，最后用纯水漂洗并检验；所述的黑色绝缘薄膜采用氧化镍材料。